検査及び洗浄

PC版
 

検査及び洗浄

広さ:115.116㎡

クリーン度:クラス100(10レベル)

 
◆純水管理値・・・1.0μs/cm以下 
※但し、イオン交換樹脂にて超純水の精製可能
 
 
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